Другим является фазовый метод газа -, метод химического осаждения пара (CAV), также известный как метод пиролиза, метод сухого или метод сгорания. Его сырье, как правило, представляют собой тетрахлорид кремния, кислород (или воздух) и водород, которые реагируют при высоких температурах.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. Воздух и водород соответственно подвергаются давлению, разделению, охлаждению и обезвоживанию, сушке силикагеля, удалению пыли и фильтрации, прежде чем отправлять в синтетическую гидролизисную печь. После того, как сырье тетрахлорида кремния отправляется в дистилляционную колонку для дистилляции, оно нагревается и испаряется в испаритель, а затем отправляется в синтетическую гидролизисную печь с сухим и фильтрованным воздухом в качестве носителя. Кремниевый тетрахлорид испаривается при высоких температурах (температура пламени 1000 - 1800 градусов), а затем подвергается гидролизу фазы- с определенным количеством водорода и кислорода (или воздуха) примерно на 1800 градусов. На этом этапе генерируемые частицы газофазного кремнезема чрезвычайно тонкие и образуют аэрозоли с газами, которые трудно захватить.
Следовательно, они сначала агрегируются в более крупные частицы в агрегаторе, а затем собираются циклоном сепаратора и отправляются в печь от дьяцидификации. Фазовый кремнезый газ - промывается азотом -, содержащего воздух до тех пор, пока значение pH не станет от 4 до 6, что является готовым продуктом